集成电路制造设备零部件归类指南：集成电路制造设备零部件归类指南

　　温朝柱，男，工学硕士，副教授，三级关务监督，海关总署归类技术委员会委员，审议分委会委员，归类技术委员会机电组和国际组成员。曾荣获海关总署“优秀教师”称号。自1995硕士毕业后一直从事海关商品归类的教学与研究工作。研究的主要方向包括进出口商品归类、海关查验、进出口税收理论等。 特别是深入研究《协调制度》的列目结构，于2013年提出了《协调制度》中“阀门”列目结构的修订议题，并被世界海关组织协调制度委员会采纳。主要参与的课题有《协调制度》翻译与本国子目转换课题（2007年版、2012年版和2017年版，署级课题）和我国现行税则存在的问题及修改建议（署级课题）。

集成电路的制造是我国重点扶持的产业之一，但在其制造设备零部件的归类方面经常会出现一些归类不一致、归类争议，本书正是解决这些归类中遇到的问题。 本书主要介绍了集成电路制造过程中不同工艺所用设备的组成结构及其零部件的归类，其中大多数设备及其零部件均配有便于读者理解的结构图、原理图，同时对这些零部件的归类税号归纳为表格形式，便于读者查找。 本书将归类中所应具备的商品知识与《中华人民共和国进出口税则》中的列目结构及归类原则有机结合起来，帮助读者较好地理解商品归类的依据和结论，书中介绍的制造工艺、设备的组成结构均为目前较为先进的工艺和结构。