集成微纳系统的前沿技术

　　张海霞：：：：：：：张海霞，教授，北京大学微电子研究院。现任全球华人微纳米分子系统学会秘书长，全球华人微米纳米技术合作网络执行主席，IEEE NTC北京分会主席等。张晓升：：：：：：：张晓升，教授，博士生导师，智能集成微系统实验室负责人。省青年科技创新研究团队负责人。长期在微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）领域开展研究工作，在批量化微纳复合制造、新型微纳电子器件、自驱动智能微纳系统等重要前沿方向上开展了深入的研究工作，取得了一系列创新研究成果，解决了微纳电子器件系统的可控制造和集成一体化的若干难题。杨卓青：：：：：：：杨卓青，教授，博士生导师，上海交通大学研究员。，研究工作主要包括MEMS惯性开关器件、PowerMEMS、纳米能源、封装以及超细柔性纤维/圆管/毛细管等表面的3D MEMS集成制造技术等。先后主持国家自然科学青年基金、面上项目，国家重点研发计划课题，国家“863”项目子课题，装备预研联合基金等项目。

微电子学是一门发展十分迅猛的学科，同时也是与新兴的纳米技术等结合十分紧密的交叉学科，因此越来越具有在尺度上是跨微米向纳米甚至是深亚纳米发展、在功能上是向着电子、机械以及生物等系统功能的集成方向发展，同时这也是一门十分典型的实验学科，需要结合大量的实验动手才能够掌握其精髓。所以我们的课程是《集成微纳系统实验班》，这本教材和课程的主旨一样：主要针对微电子学的发展及时补充完善微电子学的范畴、同时结合实验教程来增进学生的感性认识、培养学生的动手能力，弥补绝大多数同类教材只讲授知识、不关注实验能力且不及时更新其发展、不配有相应习题的不足，为学生和老师提供一本能够全面准确掌握微电子基础知识和能力的教科书。