新型传感技术及应用（第二版）

前言

第一版　前言

1　传感器与敏感材料

　1.1　概述

　1.2　硅材料

　1.3　化合物半导体材料

　1.4　压电材料

　1.5　磁致伸缩材料

　1.6　形状记忆合金

　1.7　熔凝石英

　1.8　光导纤维

　1.9　弹性合金

　1.10　纳米材料

　思考题与习题

2　传感器的制造和封装技术

　2.1　概述

　2.2　硅微加工技术

　2.3　LIGA技术和Sl，IGA技术

　2.4　特种精密加工技术

　2.5　封装技术

　思考题与习题

3　传感器建模的力学基础

　3.1　概述

　3.2　弹性体的应力

　3.3　弹性体的应变

　3.4　弹性体的物理方程

　3.5　弹性体的能量方程

　思考题与习题

4　传感器的建模

　4.1　弹性圆柱体（杆）的建模

　4.2　梁的建模

　4.3　圆平膜片的建模

　4.4　矩形（方形）平膜片的建模

　4.5　波纹膜片的建模

　4.6　E形圆膜片的建模

　4.7　带有顶盖的圆柱壳的建模

　4.8　顶端开口圆柱壳的建模

　4.9　半球壳的建模

　思考题与习题

5　硅电容式集成传感器

　5.1　概述

　5.2　硅电容式集成压力传感器

　5.3　硅电容式集成压力传感器的接口电路

　5.4　硅电容式加速度传感器

　5.5　硅电容式角速度传感器

　思考题与习题

6　谐振式传感器

　6.1　概述

　6.2　谐振式传感器的基础理论

　6.3　谐振弦式压力传感器

　6.4　谐振膜式压力传感器

　6.5　谐振筒压力传感器

　6.6　谐振式角速率传感器

　6.7　谐振式直接质量流量传感器

　6.8　硅微结构谐振式传感器

　6.9　硅微结构谐振式传感器开环特性测试仪

　思考题与习题

7　声表面波传感器

　7.1　概述

　7.2　表面波的基本理论

　7.3　声表面波叉指换能器

　7.4　声表面波谐振器

　7.5　SAW加速度传感器

　7.6　SAW压力传感器

　7.7　SAW气体传感器

　7.8　SAw流量传感器

　思考题与习题

8　薄膜传感器

　8.1　概述

　8.2　几种薄膜传感器

　思考题与习题

9　磁传感器

　9.1　概述

　9.2　磁传感器的工作原理

　9.3　霍尔元件与霍尔传感器

　9.4　磁阻元件和传感器

　9.5　硅谐振式磁传感器简介

　思考题与习题

参考文献