MEMS惯性传感器技术（精）

作　者：	张志英
出版社：	西安交通大学出版社
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作者简介

　　张志英，男，1942年出生于陕西省西安市周至县。工程师。1962年考入西安交通大学，就读于电机工程系工业企业电气化与自动化专业。毕业后分配到国防科委第六研究院第六一八研究所工作，从事飞机自动飞行控制系统总体的研究。着重于自动飞行控制系统总体电路和机内自检测（BIT）及传感器分系统的研究。在研究所工作的三十五年中，参加了五个大课题的研究工作。曾在国家第七个五年计划（七五）和第八个五年计划（八五）的航空重大科研项目中荣立二、三等功，并荣获科学技术成果奖和科学技术进步奖一、二、三等奖等，发表论文十数篇。曾任中国航空工业第六一八研究所飞机自动飞行控制系统总体专业组副组长，中国航空工业部ACT项目ICD工作组组长等职。1987年，受中国航空工业部派遣，作为ACT专家代表团成员，出访德意志联邦共和国。还应邀参加《电气工程师手册》（第二版，2000年6月，机械工业出版社出版）和《自动飞行控制系统》（2003年1月，国防工业出版社出版）两书的编写。退休后，受聘于西安高新技术开发区和北京中关村高新技术企业，从事MEMS惯性传感器的研发和自动测量及自动控制系统的集成。曾任公司研发部部长、副总经理、总工程师、技术专家等职。

内容简介

《MEMS惯性传感器技术》从MEMS惯性传感器的基本概念出发，简单介绍了MEMS惯性传感器的术语、分类、功能及作用原理；从研发和技术服务的角度简述了MEMS惯性传感器的敏感性和参数计算及其调整；给出了企业制造MEMS角速率陀螺的两个企业标准；详细介绍了一单轴较大量程MEMS硅角速率陀螺的制造工艺；介绍了MEMS惯性传感器的测试项目、测试方法及环境试验；也从性能参数出发阐述了MEMS惯性传感器的选择原则，并介绍了国内外可供选择的MEMS惯性传感器产品及其他像光纤陀螺、激光陀螺、垂直陀螺等惯性传感器产品；特列了33个作者牵头自行研制的不同量程型号的MEMS硅角速率陀螺使用说明书及其注释和国内外22个MEMS石英角速率陀螺技术条件及其注释；又从MEMS惯性传感器的应用角度讲述了MEMS惯性传感器应用的技术领域、MEMS角速率陀螺的应用特点和MEMS惯性传感器的安装要求；还对十余年来MEMS惯性传感器在各技术领域中典型的应用实例进行了一些粗浅的解析；最后，简单地介绍了MEMS惯性传感器的测试仪器和设备。

图书目录

第1章 MEMS惯性传感器术语

1．1 综合术语

1．2 MEMS角速率陀螺术语

1．3 MEMS线加速度计术语

第2章 MEMS惯性传感器分类

2．1 MlEMS角速率陀螺分类

2．2 MEMS线加速度计分类

第3章 MEMS惯性传感器的功能

3．1 MEMS角速率陀螺的功能

3．2 MEMS线加速度计的功能

第4章 MEMS惯性传感器作用原理

4．1．MEMS角速率陀螺作用原理

4．1．1 MEMS硅角速率陀螺的科里奥利作用原理

4．1．2 MEMS石英角速率陀螺的科里奥利作用原理

4．2 MEMS线加速度计作用原理

4．2．1 MEMS硅线加速度计的牛顿第二定律作用原理

4．2．2 MEMS石英线加速度计的牛顿第二定律作用原理

第5章 MEMS惯性传感器的敏感极性

5．1 MEMS角速率陀螺的敏感极性

5．2 MEMS线加速度计的敏感极性

5．3 MEMS惯性测量单元IMU的敏感极性

第6章 MEMS惯性传感器的调整

6．1 MEMS硅角速率陀螺的调整

6．1．1 敏感极性的确定

6．1．2 测量范围的扩展

6．1．2．1 外接运算放大器缩小测量范围的MEMS硅角速率陀螺的调整方法

6．1．2．2 外接电阻扩大较大测量范围的MEMS硅角速率陀螺的调整方法

6．1．2．3 外接附加供电扩大更大测量范围的MEMS硅角速率陀螺的调整方法

6．1．3 零偏的调整

6．1．3．1 零偏调整的计算方法

6．1．3．2 零偏调整的操作工艺

6．1．4 带宽的调整

6．1．4．1 一般MEMS硅角速率陀螺带宽的调整

6．1．4．2 有外接电阻扩大较大测量范围的MEMS硅角速率陀螺带宽的调整

6．1．4．3 有外接附加供电扩大更大测量范围的MEMS硅角速率陀螺带宽的调整

6．1．5 自检测（ST）响应值的计算方法

6．1．5．1 一般MEMS硅角速率陀螺自检测（ST）响应值的计算方法

6．1．5．2 有外接电阻和附加供电的MEMS硅角速率陀螺自检测（ST）响应值的计算方法

6．1．6 输出滤波器参数的选择

6．2 MEMS硅线加速度计的调整

6．2．1 敏感极性的确定

6．2．2 零偏的调整

6．2．3 带宽的调整

6．2．4 输出噪声的计算

6．2．5 地球重力加速度1g的处理

……

第7章制造MEMS硅角速率陀螺的企业标准

第8章单轴MEMS硅角速率陀螺制造工艺

第9章 MEMS惯性传感器的测试

第10章 MEMS惯性传感器产品的环境试验

第11章 MEMS惯性传感器产品的选择

第12章 MEMS硅角速率陀螺使用说明书及其注释

第13章 MEMS石英角速率陀螺技术条件及其注释

第14章 MEMS惯性传感器的应用及安装要求

第15章 MEMS惯性传感器产品应用实例