内容简介
传感器在当代科学技术中占有十分重要的地位，所有以计算机为基础的自动化、智能化系统，都需要传感器提供赖以做出实时决策的数据。近年来传感器技术发展非常迅速，非常明显的发展趋势是：沿用传统的作用原理和某些新效应，优先使用晶体材料，采用微机械加工工艺和微电子技术，从传统的结构设计转向微机械加工工艺的微结构设计，研制各种新型传感器及传感器系统，以满足体积、质量、功耗及动、静态特性等方面的要求。本教材正是基于这一发展趋势构思、选材编著的。本教材简要介绍了新型传感技术的发展趋势、传感技术中的一些共性基础问题；重点介绍了传感器技术中采用的先进材料、以硅材料为重点的先进制造技术；重点介绍了一些具有代表性的传感器敏感结构的建模和模拟计算方法；介绍了多类具有代表性的传感器的检测原理及应用。本教材可作为仪器科学与技术、控制科学与工程、机械工程、物联网工程等领域的高年级本科生、研究生的教材，也可供有关的工程技术人员参考。
